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品牌介紹：KLA-Tencor是一家領(lǐng)先的工藝控制和產(chǎn)量管理解決方案提供商，與世界各地的客戶合作開發(fā)最先進(jìn)的檢測和計量技術(shù)。這些技術(shù)服務(wù)于半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、LED、光伏和其他相關(guān)納米電子行業(yè)。憑借一系列行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品和一支世界一流的工程師和科學(xué)家團(tuán)隊(duì)，該公司30多年來一直為客戶打造卓越的解決方案。KLA-Tencor總部位于加利福尼亞州米爾皮塔斯，在世界各地設(shè)有專門的客戶運(yùn)營和服務(wù)中心。本文由深圳華聯(lián)歐官網(wǎng)小編給大家講述一下美國KLA-TENCOR檢測儀/光學(xué)表面分析儀。
一、美國KLA-TENCOR公司簡介
KLA-Tencor公司為全球知名的專業(yè)美資半導(dǎo)體(芯片)設(shè)備供應(yīng)商，總部位于美國硅谷，擁有超過6000名員工。自1976年成立以來，該公司一直致力于產(chǎn)品研究與發(fā)展，為全球客戶提供更加完善和人性化的服務(wù)，同時協(xié)助半導(dǎo)體(芯片)制造商創(chuàng)造高品質(zhì)、高效率的產(chǎn)品和質(zhì)量。目前，KLA-Tencor在美洲、歐洲、亞洲等許多國家設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。KLA-Tencor始終致力于幫助全球客戶降低運(yùn)營成本并增加收益，成為他們堅(jiān)定不移的長期合作伙伴。KLA是全球最大的半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)備(WFE)制造商之一。該公司專注于半導(dǎo)體工藝控制市場，其中機(jī)器在研發(fā)和制造過程中檢查半導(dǎo)體晶圓的缺陷并驗(yàn)證精確測量。在這一市場領(lǐng)域，KLA占有多數(shù)份額。該公司還涉足WFE市場的蝕刻和沉積領(lǐng)域。其最大客戶包括全球最大的芯片制造商，包括臺積電和三星。
二、美國KLA-TENCOR部分產(chǎn)品介紹
1、美國KLA-TENCOR前端缺陷檢測工具
①KLA-Tencor前端缺陷檢測工具涵蓋了IC制造環(huán)境中的所有良率應(yīng)用。這包括來料晶圓鑒定、研發(fā)以及工具、工藝和生產(chǎn)線監(jiān)控。
②圖案化和非圖案化晶圓缺陷檢測工具可發(fā)現(xiàn)晶圓正面、背面和邊緣上的顆粒、圖案缺陷和電氣問題。
③缺陷檢查系統(tǒng)可捕獲檢查員檢測到的缺陷的高分辨率圖像，從而實(shí)現(xiàn)缺陷分類。
④他們的數(shù)據(jù)管理工具套件可匯編和簡化由檢查和檢查工具生成的缺陷數(shù)據(jù)，以提供相關(guān)的根本原因和良率分析信息。
⑤通過實(shí)施他們的缺陷檢查器、缺陷審查和分類工具以及數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，芯片制造商能夠快速識別、監(jiān)控和解決流程問題，從而提高產(chǎn)量并加快產(chǎn)品上市時間。
2、美國KLA-TENCOR光學(xué)表面分析儀
①KLA-Tencor提供廣泛的計量解決方案，以解決IC制造商面臨的復(fù)雜工藝控制測量挑戰(zhàn)。
②隨著臨界尺寸縮小、薄膜厚度縮小到可數(shù)的原子層數(shù)以及設(shè)備變得更加復(fù)雜，圖案尺寸、薄膜厚度、層間對準(zhǔn)、圖案放置、表面形貌和電光特性的精確計量和控制變得越來越重要。
③無論是驗(yàn)證設(shè)計是否可制造、描述新工藝還是監(jiān)控大批量制造工藝，其全面的計量、分析和工藝窗口優(yōu)化產(chǎn)品都能使IC制造商能夠生產(chǎn)出高性能、可靠的設(shè)備。
3、美國KLA-TENCOR檢測儀
①無誤差光罩或掩模是實(shí)現(xiàn)高半導(dǎo)體器件產(chǎn)量的第一步，因?yàn)楣庹秩毕菘梢栽谏a(chǎn)晶圓上復(fù)制。
②KLA-Tencor為掩模廠提供高靈敏度光罩檢測和計量系統(tǒng)，幫助確保光罩無缺陷并滿足掩模計量要求。
③光罩檢測系統(tǒng)使用光學(xué)成像和多種檢測模式在晶圓上印刷之前發(fā)現(xiàn)所有類型的光罩缺陷。
④計量系統(tǒng)通過提供最佳的光罩圖案放置精度和光罩關(guān)鍵尺寸的精確測量來確保光罩制造的質(zhì)量。
⑤在IC制造環(huán)境中，芯片制造商依靠其高靈敏度的光罩缺陷檢測工具來確保光罩無缺陷，從而防止光罩缺陷印在生產(chǎn)晶圓上。
三、美國KLA-TENCOR主要產(chǎn)品
①美國KLA-TENCOR檢測儀
②美國KLA-TENCOR光學(xué)表面分析儀
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